Камера глубокого вакуума REOCAM V-5-UHV | Испытательная лаборатория РЕОМ

К списку новостей раздела

Испытательная лаборатория ЗАО "РЕОМ"

Отчет по аттестации испытательного оборудования

20 января 2026

Новая камера глубокого вакуума в испытательной лаборатории

Высоковакуумная камера REOCAM V-5-UHV, поступившая в испытательную лабораторию ЗАО «РЕОМ» в ноябре 2025 года, представляет собой современное оборудование, разработанное и произведённое российской компанией ООО «НПФ «РЕОМ».

Основные характеристики и назначение:

Таблица 1. Характеристики высоковакуумной камеры REOCAM V-5-UHV

Метрологические характеристики
Характеристика	Значение	Допустимое отклонение
Значения воспроизводимых давлений, мм рт. ст.	5	± 1
	4
	3
	2
	1
	0,1	±60%
	1х10^-2	±60%
	1х10^-7	±45%
Продолжительность времени установления нижнего предельного значения давления, от момента включения, час ^{^[1]}	5
Технические характеристики	Значение
Максимальный потребляемый ток, А	6
Потребляемая мощность, кВт	не более 3
Характеристики электропитания	380В, 50Гц, 3L+N+PE
Порт (технологическое отверстие), шт.	1 (ISO-CF 40)
Интерфейс и протокол передачи данных	Wi-Fi, Ethernet
Протокол	Modbus TCP, VNC, FTP
Максимальная масса объекта испытания, кг.	2
Материал рабочего объёма камеры	нержавеющая сталь AISI304
Порты для подключения датчиков	CF100

а[1] Данные характеристики получены в пустой, чистой и дегазированной, прогретой камере

Испытательная камера предназначена для имитации условий среднего и глубокого вакуума с предельным остаточным давлением до 1×10⁻⁷ мм рт. ст. (что соответствует ~1,3×10⁻⁵ Па).

Такие параметры позволяют моделировать условия, близкие к условиям космического пространства, и проводить испытания электронных компонентов, приборов и материалов, на устойчивость к воздействию глубокого вакуума.

Конструктивные особенности камеры глубокого вакуума:

Технологические порты (отверстия) в стенках камеры выполнены по стандарту CF и позволяют подключать внешнюю аппаратуру:

Измерительные датчики, источники питания, системы терморегулирования и другие устройства.
Порт CF100 оснащён герметичным высокочастотным разъёмом, что даёт возможность проводить электрические испытания изделий, тестирование антенн, радиочастотных модулей или систем связи в условиях среднего и глубокого вакуума.
Рабочий объем камеры изготовлен из нержавеющей стали с зеркальной полировкой, что обеспечивает низкий уровень газовыделения (дегазации) и стабильность вакуума в течение длительного времени.
Уплотнение крышки выполнено из бескислородной меди, обеспечивающей высокую герметичность и долговечность соединения.
Камера оснащена безмасляными насосами: форвакуумный и гибридный турбомолекулярный с магнитным подвесом, что исключает загрязнение внутреннего объёма маслом и обеспечивает «сухую» откачку.
Внутренний объём камеры составляет 5 литров, что делает её компактной и удобной для лабораторного использования при проведении испытаний.

Возможности применения:

Камера REOCAM V-5-UHV может использоваться для решения широкого круга задач:

Научные исследования: изучение поведения материалов и покрытий в условиях глубокого вакуума, тестирование датчиков, дегазация.

Конструкторско-технологические разработки: проверка герметичности изделий, испытания микроэлектромеханических систем (MEMS).

Испытания продукции особого назначения: контроль устойчивости электроники, оптики и приборов к вакуумным условиям, в том числе в составе оборонной и космической техники.

Калибровка оборудования, работающего в вакууме.